Název produktu: Zirkoniový rozprašovací terč

Třída materiálu: Zr702 (ASTM B493 Třída R60702)

Stupeň čistoty: 99,95 % (3N5) Na bázi kovu- (bez Hf-)

Základní aplikace: Pokročilé balení polovodičů, optický povlak, zadní elektroda solárních článků, mikroelektronická propojovací vrstva (proces PVD)

Výrobní normy: Vyhovuje ASTM B493/B493M-14 (Specifikace pro výkovky zirkonia a slitiny zirkonia) a SEMI M13-1102 (Všeobecná specifikace pro naprašovací terče)

Teoretická hustota zirkoniového rozprašovacího terče je 6,51 g/cm³, jeho hustota je větší nebo rovna 99,0 %, jeho tepelná vodivost je 22,6 W/m·K a jeho koeficient tepelné roztažnosti (20–300 stupňů) je 5,7 × 10⁻⁶ /K. Tyto parametry jsou naměřené hodnoty pro vysoce-čisté terče Zr702 ve standardním žíhaném stavu, vhodné pro vysokovýkonné DC/RF magnetronové naprašování a vykazují tepelnou stabilitu lepší než materiály s čistotou 99,9 %.

Požadavky na kvalitu povrchu výrobku a mikrostrukturu:

Velikost zrna: Menší nebo rovna 50 μm (průměr), měřeno pomocí EBSD (Electron Backscatter Diffraction), se standardní odchylkou distribuce velikosti zrn menší nebo rovnou 15 μm.

Drsnost povrchu (Ra): menší nebo rovna 0,8 μm, měřeno pomocí 3D optického profilometru (ISO 4287), bez škrábanců, vrubů a důlků.

Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 mm² je zamítnut.

Mikrostruktura: Jednotná rovnoosá -fázová struktura. SEM (500× zvětšení), bez pórů, inkluzí a segregace.

Všechny terče jsou zahuštěny izostatickým lisováním za horka (HIP), aby byla zajištěna pevnost spoje na hranicích zrn větší nebo rovna 180 MPa, splňující požadavek, aby nedocházelo k porušení delaminace po 500 hodinách nepřetržitého naprašování.

Specifikace balení a přepravy pro zirkoniový rozprašovací terč (vyhovující GHS a IEC):

Vnitřní obal: Vakuově utěsněný (menší nebo roven 1 × 10⁻³ mbar) + naplněný vysoce-argonem (99,999 %), v souladu s ASTM F2095.

Vnější obal: Dvojitá-vrstevná vlhkost-aluminiová fóliová taška + tlumící pěna EPE + dřevěná přepravka (v souladu s ISPM-15), IEC 60068-2-78.

Štítek ochrany proti vlhkosti: Karta indikátoru vlhkosti-vlhkosti (menší nebo rovna 5 % relativní vlhkosti), v souladu s IEC 60068-2-30.

MSDS/SDS: V souladu se 7. revizí GHS, obsahující 16 standardních oddílů, včetně nebezpečí výbuchu prachu Zr (P201, P261, P304+340), OSHA 29 CFR 1910.1200. Přepravní štítek: UN 1399 (-hořlavý pevný kov) + žíravé látky.

Každá krabička obsahuje sáček s vysoušedlem (silikagel) a záznamník vlhkosti. Regulace teploty během přepravy: 5–30 stupňů, relativní vlhkost Méně než nebo rovna 40 %.

FAQ

Otázka: Můžete poskytnout typické případové studie zákazníků zirkoniového naprašovacího terče?

Odpověď: Deset největších světových výrobců polovodičů, včetně TSMC, Samsung Electronics, Intel a SK Hynix, jsou nepřímými koncovými{0}}uživateli zirkoniových terčů. Jejich pokročilé procesy (jako jsou uzly pod 5nm) široce využívají terče Zr702 pro kovové bariérové vrstvy, pasivační vrstvy rozhraní a propojovací struktury, uložené pomocí PVD zařízení, jako jsou Applied Materials Endura® a Lam Research Kiyo®. Zirkoniové terče jsou tak zabudovány jako klíčové funkční materiály v procesech jejich hromadné výroby.

Přední mezinárodní společnosti zabývající se displejem a fotovoltaikou, jako jsou LG Display, Samsung Display a First Solar, používají vysoce -zirkonové terče při potahování elektrod panelů OLED a výrobě zadních elektrod solárních článků CIGS k dosažení nízkého -odporu a vysoké{2}}stability nanášení tenkého kovového filmu, splňujícího požadavky velkoplošné, vysoce jednotné{{4} výroby.

Letecké a obranné-výrobní společnosti, včetně Lockheed Martin, Boeing a Northrop Grumman, používají zirkoniové terče pro PVD nanášení povlaků odolných proti vysokým-teplotám a korozi-, aplikovaných na součásti motorů, systémy tepelné ochrany a radarové stealth struktury. Jejich standardy nákupu jsou přísné a vyžadují shodu s certifikací AS9100D a sledovatelnost šarže COA.

Otázka: Přijímáte bankovní akreditivy?

Odpověď: Ano, akceptujeme akreditivy (L/C) jako způsob platby za nákupy. Zůstaňte prosím v kontaktu.

Otázka: Jsou zirkoniové naprašovací terče obecně certifikovány podle ISO 9001, IATF 16949 a AS9100?

Odpověď: Ano, v oblasti zirkoniových naprašovacích terčů pro průmyslové a{0}}endové aplikace se certifikace ISO 9001, IATF 16949 a AS9100D staly univerzálními a povinnými vstupními standardy.

Populární Tagy: zirkoniový naprašovací terč, Čína výrobci zirkoniových naprašovacích terčů, dodavatelé, továrna